제품정보

제품설명

적용 :
PR 경화 및 습기제거, 웨이퍼 (포토 리소그래피 공정 및 전처리) 산화 방지
건조, 반도체 패키지 MSL, 전자 부품 및 코팅 피막 경화 등에 사용합니다

▷ 프로그램형 디지털 PID 콘트롤러는 정밀한 온도 제어 (자동튜닝 기능내장)
▷ O₂ 모니터링 및 제어 시스템 (DK-CUO-OM) : 불활성 분위기 (질소 또는 기타
불활성 가스)를 주입하여 챔버 내부의 산소 레벨을 낮추어 시료의 산화를 방지
합니다. O₂ 센서를 내장하여 N₂ 퍼지를 모니터하고 또한 제어를 합니다
▷ 질소 퍼지 프로그램 장치는 프로그램 진행 시 세그먼트 타임이벤트
(TME1,2…)로 자동으로 질소 퍼지합니다
▷ 챔버로 유입되는 공기는 ISO Class 5 (Class 100 또는 Class 10) HEPA
필터로 100% 거쳐 챔버 내부로 재순환 됩니다 (옵션)
▷ 정전 시 자동 제어 복귀 기능 및 Key Lock기능, 타이머 Wait zone기능
▷ 시각적 청각적 알람 경고, 조절 가능한 과열 방지 장치 내장
(DIN 12880:2007-05, Thermal safety device Class 3.1 TWW)