제품정보

제품설명

적용 :
반도체산업에서 웨이퍼의 풀림 (Annealing), 레지스트 멤브레인의 건조, 광학, 의약품,
기구 살균, 식품 등 청정한 공기 조건을 갖춘 작업 무균, 무진 환경이 필요한 부품이나
기구의 열처리 (Baking), 건조 용도로 사용합니다

▷ 디지털 PID 콘트롤러는 정밀한 온도 제어는 물론 설정 값에서 오버 슈팅을 방지하여
안정적입니다 (자동튜닝 기능내장)
▷ 강제 열풍 순환 방식으로 균일한 온도 유지
▷ ISO Class 5 (Class 100)의 청정 공기가 챔버 내부로 재순환됩니다 (Class 10 옵션)
▷ 정전 시 자동 제어 복귀 기능 및 Key Lock기능, 타이머 Wait zone기능
▷ 시각적 청각적 알람 경고, 조절 가능한 과열 방지 장치 내장
(DIN 12880:2007-05, Thermal safety device Class 3.1 TWW)